Back to Facilities
Helios 5 Hydra

Helios 5 Hydra

FIB Active

Thermo Fisher Scientific — Helios 5 Hydra CryoFIB

Multi-ion species plasma FIB-SEM (Xe, Ar, O, N) with Elstar SEM column, cryo-stage, and cryo-transfer capability for air-sensitive and beam-sensitive materials. 다중 이온종(Xe, Ar, O, N) plasma FIB-SEM으로, Elstar SEM 컬럼과 cryo-stage 및 cryo-transfer 기능을 갖추어 대기 민감성 및 전자빔 민감성 시료의 분석이 가능합니다.
Type Plasma FIB-SEM (PFIB)
Ion species Xe, Ar, O, N (multi-ion)
SEM resolution Sub-nm (2–15 keV)
FIB current 1 pA – 2.5 µA (Xe, 30 keV)
SEM column Elstar (350 eV – 30 keV)
FIB resolution ~20 nm (Xe, 30 keV)
Detectors SE/BSE (TLD), ICE, EDS, EBSD
Cryo ~90 K, plunge freeze, vacuum transfer
Purchased 2025. 11
On this page

Overview

The Thermo Fisher Scientific Helios 5 Hydra is a next-generation plasma FIB-SEM featuring multi-ion species capability (Xe, Ar, O, N) with rapid switching between ion sources. Combined with a 2nd-generation cryo-stage and cryo-transfer system, it enables large-volume site-specific milling and TEM lamella preparation for both conventional and cryogenic specimens, including air-sensitive battery materials.

Key Features

  • Multi-ion plasma source: Four ion species (Xe, Ar, O, N) switchable in under 10 minutes, enabling optimized milling for different materials
  • High-current PFIB: Up to 2.5 µA Xe beam at 30 keV for rapid large-area cross-sectioning (100s of µm)
  • Elstar SEM column with beam deceleration: Sub-nanometer resolution imaging from 350 eV to 30 keV
  • Cryo capabilities: Integrated plunge freezing, metal sputter coating, freeze fracturing, and vacuum transfer for cryo-TEM sample preparation
  • Comprehensive detection: SE and BSE through-the-lens detectors (TLD), ICE detector for secondary ions, large solid-angle EDS, and EBSD

Applications

  • Large-volume serial sectioning of battery electrodes and solid-state electrolytes
  • Cryo-FIB lamella preparation for air-sensitive materials (Li metal, sulfide SEs)
  • Site-specific TEM sample preparation with multi-ion species optimization
  • 3D microstructural characterization via FIB-SEM tomography
  • EBSD analysis of grain orientation and texture

개요

Thermo Fisher Scientific Helios 5 Hydra는 다중 이온종(Xe, Ar, O, N)을 지원하며 이온원 간 빠른 전환이 가능한 차세대 plasma FIB-SEM입니다. 2세대 cryo-stage 및 cryo-transfer 시스템과 결합하여, 대기 민감성 배터리 소재를 포함한 일반 및 극저온 시편의 대면적 위치 선택적 밀링과 TEM lamella 제작이 가능합니다.

주요 특징

  • 다중 이온 plasma 소스: 4종의 이온(Xe, Ar, O, N)을 10분 이내에 전환 가능하여 소재별 최적화된 밀링 조건 적용
  • 고전류 PFIB: 30 keV에서 최대 2.5 µA Xe 빔으로 수백 µm 규모의 대면적 단면 가공 가능
  • Elstar SEM 컬럼 (beam deceleration): 350 eV~30 keV 범위에서 서브나노미터 분해능 이미징
  • Cryo 기능: plunge freezing, 금속 스퍼터 코팅, freeze fracturing, vacuum transfer를 통합하여 cryo-TEM 시료 제작 지원
  • 다중 검출 시스템: SE/BSE through-the-lens 검출기(TLD), 2차 이온용 ICE 검출기, 대입체각 EDS 및 EBSD

응용 분야

  • 배터리 전극 및 전고체 전해질의 대면적 serial sectioning
  • 대기 민감성 소재(Li 금속, 황화물계 고체 전해질)의 cryo-FIB lamella 제작
  • 다중 이온종 최적화를 통한 위치 선택적 TEM 시료 제작
  • FIB-SEM tomography를 이용한 3D 미세구조 분석
  • EBSD를 이용한 결정립 방위 및 집합조직 분석